鈦靶材清潔的目的是清理目標表面可能存在的灰塵或污垢，一般可分四步清洗：
       1、清洗浸泡在丙酮中的無天鵝絨軟布。
       2、類似于用酒精清洗；
       3、用去離子水清洗。用去離子水清洗后，把目標放在烤箱里，在100攝氏度下烘干30分鐘。建議用"無天鵝絨布"清潔氧化物和陶瓷靶材。
       4、用高壓和低濕度氬沖洗 鈦靶材，除去可能在濺射系統中產生電弧的雜質顆粒。